申请/专利权人：广东工业大学

申请日：2019-12-23

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN110900322B

主分类号：B24B1/00

分类号：B24B1/00;B24B31/10;B24B31/12;B24B27/033;B24B41/02;B24B55/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2020.04.17#实质审查的生效;2020.03.24#公开

摘要：本发明涉及超精密加工的技术领域，更具体地，涉及一种电芬顿集群磁流变复合研磨抛光装置及方法，包括底座、集群磁铁、自转传动组件、公转传动组件、第一驱动组件、内盛有磁流变液的抛光盘、第二驱动组件以及电芬顿组件，集群磁铁安装于自转传动组件、自转传动组件连接于集群磁铁和第一驱动组件之间、公转传动组件连接于第一驱动组件和自转传动组件之间，抛光盘与第二驱动组件连接、且抛光盘位于集群磁铁上方。本发明电芬顿反应生成物·OH与被加工工件反应生成氧化层；集群磁铁自转和公转以及抛光盘转动，磁流变液在集群磁铁的作用下形成动态柔性抛光垫，氧化层在动态柔性抛光垫的作用下去除，可改善工件加工效率和加工质量。

主权项：1.一种电芬顿集群磁流变复合研磨抛光装置，其特征在于，包括底座1、集群磁铁2、驱动集群磁铁2自转的自转传动组件3、驱动集群磁铁2公转的公转传动组件4、为集群磁铁2自转和公转提供动力的第一驱动组件5、内盛有磁流变液的抛光盘6、驱动抛光盘6转动的第二驱动组件7以及可发生电芬顿反应产生·OH反应物的电芬顿组件8，所述集群磁铁2安装于自转传动组件3、所述自转传动组件3连接于集群磁铁2和第一驱动组件5之间、所述公转传动组件4连接于第一驱动组件5和自转传动组件3之间，所述抛光盘6与第二驱动组件7连接、且所述抛光盘6位于集群磁铁2上方，所述电芬顿组件8包括电化学工作站81及伸入至磁流变液中的电芬顿单元，所述电化学工作站81与电芬顿单元连接，所述第一驱动组件5、第二驱动组件7、电化学工作站81均安装于底座1；所述第一驱动组件5包括第一电机51、第一带轮52、第二带轮53、第一传动带54以及主轴55，所述第一带轮52与第一电机51连接、第一电机51安装于底座1，所述第一传动带54环绕于第一带轮52和第二带轮53的外周，所述主轴55与第二带轮53连接且所述主轴55设有与所述自转传动组件3连接的偏心轴56以及与所述公转传动组件4连接的过渡轴57；所述第二驱动组件7包括第二电机71、第三带轮72、第四带轮73、第二传动带74以及传动件，所述第二电机71安装于底座1，所述第三带轮72与第二电机71连接，所述第四带轮73与传动件连接，所述第二传动带74缠绕于第三带轮72和第四带轮73外周，所述抛光盘6与传动件连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东工业大学 一种电芬顿集群磁流变复合研磨抛光装置及方法

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