申请/专利权人:无锡市惠丰电子有限公司
申请日:2022-04-20
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN114619132B
主分类号:B23K20/10
分类号:B23K20/10;B23K20/26;C04B35/01;C04B41/51;C04B41/88
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.09#授权;2022.07.01#实质审查的生效;2022.06.14#公开
摘要:本发明属于压电陶瓷驱动技术领域,具体涉及大推力驱动片的制备方法,将惠丰内部粉料经过压制成型、排塑、烧结、金属化、极化处理后获得陶瓷晶片,将所述陶瓷晶片分别粘贴在铜基板的两侧分别作为正极和负极,在作为正极的陶瓷晶片上粘贴连接蓝宝石。本发明提供的大推力驱动片的制备方法,使现有超声波双晶片驱动的制备成本降低50%,推动力可大于250g,推动距离16μm±2μm,重复使用次数达到20亿次以上。
主权项:1.大推力驱动片的制备方法,其特征在于,将红丹粉65%、钛白粉15.50%、氧化锆15.6%、二氧化锡2.58%、五氧化二铌1.32%经过压制成型、排塑、烧结、金属化、极化处理后获得陶瓷晶片,将所述陶瓷晶片分别粘贴在铜基板的两侧分别作为正极和负极,在作为正极的陶瓷晶片上粘贴连接蓝宝石;所述压制成型处理中,压力为40MPa,成型压块的厚度为15~20mm;所述排塑的温度为850℃;所述烧结温度为1200-1250℃;金属化处理前,烧结获得的坯片先进行尺寸加工,并进行超声清洗,所述金属化处理为将尺寸加工后的坯片上下两个面上进行被银处理;所述被银处理为分子银浆印刷,烧银温度为750~850℃,870℃渗银;所述极化处理采用空气极化,极化半小时测D33大于等于520为合格;所述陶瓷晶片与铜基板连接、所述陶瓷晶片与所述蓝宝石连接均通过环氧胶水连接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 无锡市惠丰电子有限公司 大推力驱动片及其制备方法
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