申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2020-02-06

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN113544591B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G06N3/04;G06N20/00

优先权：["20190306 EP 19160933.8"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2021.11.09#实质审查的生效;2021.10.22#公开

摘要：一种从数据集提取特征的方法包括：基于数据集内所包括的残差图案的可视化238从数据集提取特征244，其中特征不同于在先前迭代中提取的特征，并且残差图案的可视化使用在先前迭代中提取的特征。使用在先前迭代中提取的特征可视化234数据集可以包括：生成属性数据的与目标数据相关的残差图案。使用在先前迭代中提取的特征可视化234数据集可以涉及：基于在先前迭代中提取的特征，将集群约束添加到数据集。附加地或备选地，使用在先前迭代中提取的特征可视化234数据集可以涉及：定义以在先前迭代中提取的特征为条件的条件概率。

主权项：1.一种从与半导体制造过程相关联的数据集提取特征的方法，所述方法包括：基于所述数据集内所包括的残差图案的通过计算系统在显示器上的可视化，从所述数据集迭代地提取特征，其中所述特征不同于在先前迭代中提取的先前特征，并且所述残差图案的所述可视化使用所述先前特征。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 从数据集提取特征

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