申请/专利权人：广东振华科技股份有限公司

申请日：2022-04-20

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN114836727B

主分类号：C23C14/54

分类号：C23C14/54;C23C14/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.08.19#实质审查的生效;2022.08.02#公开

摘要：本发明属于真空镀膜技术领域，具体是多层膜系的各层膜厚检测系统，包括安装在真空镀膜腔内部的载片架上可随载片架向前移动的检测盒体，所述检测盒体的前盖上设有用于接收镀膜材料的镀膜开口窗，所述检测盒体内部均匀的设有若干待镀的样品、用于安装样品的载盘，所述载盘的中心位置设有能拨动载盘转动或检测盒体前盖转动后将下一个样品能对应到镀膜开口窗位置的拨动装置，所述真空镀膜腔内部设有能触动拨动装置工作的触发机构。该独立检测系统能准确的及时的检测出镀膜设备中单独的每一个膜层的膜厚，检测过程简单方便快速，检测成本低。

主权项：1.一种多层膜系的各层膜厚检测系统，其特征在于：包括安装在真空镀膜腔内部的载片架上可随载片架向前移动的检测盒体，所述检测盒体的前盖上设有用于接收镀膜材料的镀膜开口窗，所述检测盒体内部均匀的设有若干待镀的样品、用于安装样品的载盘，所述载盘的中心位置设有能拨动载盘或检测盒体的前盖转动后将下一个样品能对应到镀膜开口窗位置的拨动装置，所述真空镀膜腔内部设有能触动载盘拨动装置工作的触发机构；所述拨动装置为能拨动载盘转动的载盘拨动装置，载盘拨动装置从检测盒体的内部至外部依次包括固定安装在载盘中心位置的单向棘齿离合器、连接轴、拨杆，所述检测盒体前盖的内部设有固定座，所述单向棘齿离合器、连接轴安装在固定座上，所述连接轴一部分置于检测盒体内部，另一部分置于检测盒体的外部，其中置于检测盒体外部的连接轴段上套设有复位弹簧，在初始状态，所述拨杆倾斜且向着靠近触发机构的方向设置；所述触发机构为固定在相邻的两层镀膜源之间位置的固定触碰杆，且固定触碰杆为若干个，均水平向的固定于真空镀膜腔的腔体上，并沿着检测盒体移动的方向排布，在初始状态，所述拨杆在竖直方向投影的高度略高于触碰杆的高度；检测盒体随着载片架向前移动，当固定触碰杆触碰到拨杆时，拨杆会驱动连接轴、单向棘齿离合器带着载盘逆时针旋转一个角度，此时将样品对准镀膜开窗口完成该第一个样品的第一膜层镀膜的工作，接着固定触碰杆离开拨杆，拨杆在弹性回复力的作用下回复原位，继续等待直至碰到下一个固定触碰杆，完成下一个样品的第二膜层的镀膜工作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东振华科技股份有限公司 一种多层膜系的各层膜厚检测系统及其检测方法

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