申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2022-08-02

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN115194737B

主分类号：B25J9/00

分类号：B25J9/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.11.04#实质审查的生效;2022.10.18#公开

摘要：本发明提供一种差动式六自由度并联微动平台，包括上平台、上柔性铰链、单足位移促动器、下柔性铰链和下平台，单足位移促动器与上柔性铰链和下柔性铰链通过螺钉连接，在上平台与下平台上形成上平台安装面与下平台安装面，单足位移促动器的一端通过上柔性铰链与上平台安装面连接，另一端通过下柔性铰链与下平台安装面连接；通过驱动件的内表面与外表面螺纹的螺距不相同，使其在运动的过程中形成差动，有效的提高微动平台的精度；通过省略压电陶瓷或是行星滚珠丝杠，采用螺纹丝杠使整体的成本更低。

主权项：1.一种差动式六自由度并联微动平台，其特征在于，包括上平台（1）、上柔性铰链（2）、单足位移促动器（3）、下柔性铰链（4）和下平台（5），所述单足位移促动器（3）与所述上柔性铰链（2）和所述下柔性铰链（4）通过螺钉连接，在所述上平台（1）与所述下平台（5）上形成上平台安装面（1-1）与下平台安装面（5-1），所述单足位移促动器（3）的一端通过所述上柔性铰链（2）与所述上平台安装面（1-1）连接，另一端通过所述下柔性铰链（4）与所述下平台安装面（5-1）连接；所述单足位移促动器（3）包括伺服电机（3-1）、谐波减速器（3-5）、滚珠花键轴（3-7）、轴承（3-8）、花键母（3-12）、驱动件（3-13）、螺纹丝杠（3-15）和套筒（3-14），所述伺服电机（3-1）的输出轴与所述谐波减速器（3-5）中的波发生器连接，所述谐波减速器（3-5）中的柔轮通过减速器连接件（3-6）与所述滚珠花键轴（3-7）的一端相连接，所述滚珠花键轴（3-7）的另一端与所述花键母（3-12）相互配合，所述轴承（3-8）与所述滚珠花键轴（3-7）配合，在所述驱动件（3-13）的内表面与外表面开设有螺纹形成内表面螺纹与外表面螺纹，所述内表面螺纹的螺距与所述外表面螺纹的螺距不同，所述驱动件（3-13）的一端与所述花键母（3-12）连接，驱动件（3-13）的另一端的内表面与所述螺纹丝杠（3-15）配合，在所述套筒（3-14）的内侧开设有内侧螺纹，所述套筒（3-14）固定在驱动件（3-13）的外侧，所述外表面螺纹与所述内侧螺纹相配合；当所述波发生器发生转动时，带动所述柔轮转动，从而带动所述滚珠花键轴（3-7）转动，所述滚珠花键轴（3-7）带动所述花键母（3-12）转动，所述花键母（3-12）带动所述驱动件（3-13）转动，所述驱动件（3-13）相对于所述套筒（3-14）向上运动，所述螺纹丝杠（3-15）相对于所述驱动件（3-13）向下运动，因螺距不同从而形成差动；所述单足位移促动器（3）还包括电机法兰（3-3）、电机套筒（3-2）、减速器法兰（3-4）和轴承套筒（3-10），所述电机套筒（3-2）固定在所述伺服电机（3-1）的外侧，所述电机套筒（3-2）的一端与所述电机法兰（3-3）固定连接，另一端与所述下柔性铰链（4）固定连接，用于固定所述谐波减速器（3-5）的所述减速器法兰（3-4）与所述电机法兰（3-3）固定连接，所述轴承套筒（3-10）与所述减速器法兰（3-4）固定连接；所述轴承（3-8）选用双列深沟球轴承、双列角接触球轴承、双联角接触球轴承或双列圆锥滚子轴承；所述轴承（3-8）的内圈的一端通过所述滚珠花键轴（3-7）的轴肩进行定位，内圈的另一端通过螺母定位，所述轴承（3-8）的外圈靠近所述谐波减速器（3-5）的一端通过第一轴承垫片（3-9）定位，外圈的另一端通过第二轴承垫片（3-11）定位；所述单足位移促动器（3）的数量至少为三个并且均匀分布在所述上平台（1）与所述下平台（5）之间；所述上平台安装面（1-1）与上平台（1）的台面保持倾斜，所述下平台安装面（5-1）与所述下平台（5）的台面保持倾斜；所述上平台（1）与所述下平台（5）的形状可以为圆形、椭圆形或多边形，所述上平台（1）的尺寸小于所述下平台（5）的尺寸；所述花键母（3-12）为滚珠花键母。

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百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 差动式六自由度并联微动平台

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