申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2017-01-10

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN113702269B

主分类号：G01N15/075

分类号：G01N15/075;G01N15/00;G01N15/14;G01N21/59;H01L21/67;B05B9/04

优先权：["20160121 JP 2016-009923"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2021.12.14#实质审查的生效;2021.11.26#公开

摘要：本发明提供一种药液供给装置和涂敷显影系统，其能够高精度地检测在流路部流动的微小的异物。本发明的药液供给装置包括：供流体流动的流路部；激光照射部，其以光路与上述流路部中的流体的流动方向交叉的方式设置，用于对该流路部内照射来自激光光源的激光，并且上述激光照射部具有光学系统，该光学系统使激光以在与上述流路部的流体的流动方向交叉的方向上变长的方式扁平化；光检测部，其设置在透射上述流路部的光路上，且包含排列在光路的横截面中的长度方向上的多个受光元件；和异物检测部，其将根据上述多个受光元件各自接收的光的强度所对应的电信号的信号电平而得到的信号电平，与规定的信号电平的阈值进行比较，基于比较结果检测上述异物。

主权项：1.一种对基片供给药液来进行处理的药液供给装置，其特征在于，包括：流路形成部，其形成多个流路且能够透射光，其中所述多个流路中流通要供给到所述基片的药液；药液供给部，其向所述流路形成部供给所述药液，以使得该药液供给向所述多个流路中被选择的流路；激光照射部，其由所述多个流路共用，用于向各流路照射激光，所述激光照射部以光路与各所述流路中的药液的流动方向交叉的方式配置，并且具有光学系统，该光学系统使激光以在与所述流路的药液的流动方向交叉的方向上变长的方式扁平化；光检测部，其由所述多个流路共用，与所述激光照射部一起夹着所述流路形成部地配置在透射所述流路的光路上，且包含在光路的横截面中的长度方向上排列的多个受光元件；异物检测部，其基于从多个所述受光元件各自输出的信号，来检测所述流路中流通的所述药液中的异物；和移动机构，其构成为使支承所述激光照射部和多个所述受光元件的台在所述多个流路排列的方向上移动，通过使所述台移动来使所述激光照射部和所述受光元件相对于所述多个流路移动到与所述被选择的流路对应的位置，以检测被供给到所述被选择的流路的所述药液中的异物。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 药液供给装置和涂敷显影系统

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