申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2024-01-19

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117589294B

主分类号：G01J3/02

分类号：G01J3/02;G01N21/01;G01N21/39

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.03.12#实质审查的生效;2024.02.23#公开

摘要：本发明涉及一种球型积分腔结构及离轴积分腔气体测量仪，属于痕量气体探测技术领域。解决无法通过无节制的增加光斑在镜片上的环绕长度来降低干涉噪音的技术问题。该球型积分腔结构，包括：球型内腔镜和包裹在球型内腔镜外围的球型外腔镜；球型外腔镜的内侧表面镀有高反射膜；通过入射位置入射至球型内腔镜中的内圈光束，内圈光束在球型内腔镜内范围往复反射；球型内腔镜与球型外腔镜之间的外圈光束在球型内腔镜与球型外腔镜之间的区域往复反射，每次反射在后腔镜时，有微弱光信号透射出腔。本发明将非出射点处的透射光再一次反射入球型积分腔内，使光束能量被有效利用。

主权项：1.一种球型积分腔结构，其特征在于，包括：球型内腔镜（105）和包裹在所述球型内腔镜（105）外围的球型外腔镜（104）；在所述球型外腔镜（104）的一端设有用来光束入射的入射孔（103）；在所述球型内腔镜（105）的一端设有用来光束入射的入射位置（111）；所述球型外腔镜（104）的内侧表面镀有高反射膜，所述高反射膜的反射率为：大于等于99.99%；所述球型外腔镜（104）的入射孔（103）处为反射率低于高反射膜区域或者镂空；所述球型内腔镜（105）的入射位置（111）处为反射率低于高反射膜区域；通过所述入射位置（111）入射至所述球型内腔镜（105）的光束，在所述球型内腔镜（105）内往复反射；通过所述入射孔（103）入射至球型内腔镜（105）与球型外腔镜（104）之间的光束在球型内腔镜（105）与球型外腔镜（104）之间的区域往复反射，每次反射在所述球型外腔镜（104）的后腔镜的光束出射位置时，有微弱光信号透射出腔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种球型积分腔结构及离轴积分腔气体测量仪

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