申请/专利权人：住友大阪水泥股份有限公司

申请日：2019-08-15

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN113646690B

主分类号：G02F1/035

分类号：G02F1/035

优先权：["20190329 JP 2019-067717"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.03.18#实质审查的生效;2021.11.12#公开

摘要：本发明提供一种光调制器，在将多个马赫‑曾德尔型光波导集成化而得到的光调制器中，能够进行低电压驱动，抑制串扰现象的发生。其特征在于，在具有电光效应的基板1形成有光波导10和控制电极，该光波导具有并列地配置多个马赫‑曾德尔型光波导的结构，该控制电极具备GSSG型的差动电极结构，该GSSG型的差动电极结构是对于一个所述马赫‑曾德尔型光波导在2个接地电极GG1与G2或G2与G3之间配置有2个信号电极SS1与S2或S3与S4的结构，在被相邻的马赫‑曾德尔型光波导夹着的该接地电极G2，设置有用于抑制信号串扰的串扰抑制单元。

主权项：1.一种光调制器，其特征在于，在具有电光效应的基板形成有光波导和控制电极，该光波导具有并列地配置多个马赫-曾德尔型光波导的结构，该控制电极具备GSSG型的差动电极结构，该GSSG型的差动电极结构是对于一个所述马赫-曾德尔型光波导在2个接地电极G之间配置有2个信号电极S的结构，在被相邻的马赫-曾德尔型光波导夹着的该接地电极设置有用于抑制信号串扰的串扰抑制单元，该串扰抑制单元被设定为，该接地电极的上表面的至少一部分比该信号电极的上表面高，且该接地电极的下表面的至少一部分比该信号电极的下表面低，在该接地电极与该基板之间配置树脂层，与该树脂层对应地在该接地电极的上表面形成突出部，所述两个信号电极S之间的、由差动信号的同相信号与反相信号的电位差产生的电场的强度比相邻的信号电极S与接地电极G之间的电场的强度高，所述两个信号电极S之间的距离W1设定为小于相邻的信号电极S与接地电极G之间的距离W2的两倍。

全文数据：

权利要求：

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