申请/专利权人：浙江浩鑫半导体材料有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753386U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及石英舟技术领域，特别公开了一种高稳定性式石英舟，包括石英舟，所述石英舟的下方设置有运输架，所述石英舟的下端部固定安装有两个石英架，每个所述石英架的前后两侧内壁均固定安装有石英杆；其中，所述运输架的上端部固定安装有两个支撑架，两个所述支撑架均插接在两个石英架内部，每个所述支撑架横截面的形状均为L形，通过石英舟在移动时更加稳定，使用者可以将石英舟下方的两个石英架套设在一个支撑架外，使用者将两个石英架开设的两个第二插槽套设在一个支撑架外，此时石英舟可以实现横向运输，通过将石英舟设计成可双向运输，从而可以提高晶片运输的便捷度。

主权项：1.一种高稳定性式石英舟，包括石英舟（1），其特征在于，所述石英舟（1）的下方设置有运输架（2），所述石英舟（1）的下端部固定安装有两个石英架（14），每个所述石英架（14）的前后两侧内壁均固定安装有石英杆（15）；其中，所述运输架（2）的上端部固定安装有两个支撑架（21），两个所述支撑架（21）均插接在两个石英架（14）内部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江浩鑫半导体材料有限公司 一种高稳定性式石英舟

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD