申请/专利权人：上海芯丑半导体设备有限公司

申请日：2023-07-04

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220752259U

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28;G01R1/04;G01R1/067

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请涉及晶圆测试技术领域，公开了一种探针卡测量装置，包括机架；观测机构，所述观测机构包括显微镜和驱动组件，所述驱动组件设置于所述机架上，所述显微镜设置于所述驱动组件上；承载机构，所述承载机构包括多个用于承载探针卡的承载件，所述多个承载件分别与所述机架可拆卸连接；控制系统，所述控制系统与所述驱动组件电连接，所述控制组件用于读取探针卡和所述承载件的参数以及控制上所述驱动组件动作。该探针卡测量装置，通过设置控制系统对驱动组件进行控制，使得测量装置在对不同的探针卡进行检测时，都能够将显微镜停留在合适的位置上，解决了手动调节显微镜可能损坏探针和显微镜的问题。

主权项：1.一种探针卡测量装置，其特征在于，包括：机架2；观测机构3，所述观测机构3包括显微镜31和驱动组件32，所述驱动组件32设置于所述机架2上，所述显微镜31设置于所述驱动组件32上；承载机构4，所述承载机构4包括多个用于承载探针卡1的承载件41，所述多个承载件41分别与所述机架2可拆卸连接；控制系统5，所述控制系统5与所述驱动组件32电连接，所述控制系统5用于读取探针卡1和所述承载件41的参数以及控制上所述驱动组件32动作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海芯丑半导体设备有限公司 一种探针卡测量装置

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