申请/专利权人：沙朗特股份有限公司

申请日：2022-06-06

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117836635A

主分类号：G01R1/067

分类号：G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28

优先权：["20210616 US 63/202,548"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.05#公开

摘要：提供了一种由弹簧销和用于接受探针板的槽组成的探针头。弹簧销在其顶点处具有弹簧加载的旋转球，其允许探针板顺利滑动到槽中。探针板容纳具有单个或多个集成探针的探针芯片。探针被用于提取薄膜材料和半导体集成电路的电气、机械、光学、化学和结构属性。

主权项：1.一种探针头，所述探针头包括：至少一个弹簧销；用于插入探针板的槽；以及前盖。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 沙朗特股份有限公司 具有可更换探针板的探针头

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD