申请/专利权人：艾感科技(广东)有限公司

申请日：2023-02-20

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117825459A

主分类号：G01N27/12

分类号：G01N27/12;H05B3/03

优先权：["20220225 CN 2022101799815"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明涉及一种低功耗气体传感器加热电极制备方法及系统，所述系统包括加热电极，其配置有若干个第一引导区段，检测电极，其配置有若干个第二引导区段，隔离层，其被配置为用于隔离所述检测电极和所述检测电极，隔离层限定了定向成背离衬底的第一表面，所述第一表面以及靠近所述衬底的第二表面，所述第一表面沉积有用于检测的检测电极，所述第二表面沉积有用于加热的加热电极，所述第一引导区段定位于所述检测电极配置的若干个第二导引区段以使所述第一引导区段能够与所述第二导引区段相互对应设置将隔离层夹持；制作方法包括以下步骤：在加热电极上形成隔离层；在绝缘层上形成检测电极，第一导引区段与第二导引区段相对应的设置在隔离层两侧。

主权项：1.一种气体传感器加热电极1，其配置有若干个第一导引区段11，其特征在于，所述加热电极1与检测电极2相对应的设置在隔离层3两侧，并且所述第一引导区段11定位于所述检测电极2配置的若干个第二导引区段21以使形成于所述第一导引区段11和或所述第二导引区段12的变化层400能够均匀设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾感科技(广东)有限公司 一种低功耗气体传感器加热电极制备方法及系统

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