申请/专利权人：江苏神州半导体科技有限公司

申请日：2024-01-10

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117828275A

主分类号：G06F18/10

分类号：G06F18/10;G01R31/00;G01R31/12;G01R19/00;G01N33/00;G01N27/62;G01D21/02;G06F18/2415;G06F18/25;G06N7/01

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明公开了等离子体领域内的一种等离子体腔室arcing的预测方法及装置。该预测方法包括以下步骤：S1:获取射频电源的状态信息、腔体的功率信息、所述腔体内的气体信息；S2:对所述状态信息、功率信息、气体信息进行预处理，获取参量数据集；S3:对所述参量数据集内的参量数据进行融合处理，构建贝叶斯网络，获取各参量的概率分布，验证arcing被检测到的概率，获取概率模型；S4:通过概率模型检测各项数据，当arcing产生概率大于设定值时，对所述射频电源进行控制。该预测方法提高arcing被检测的概率，基于arcing发生的模式，可提前对arcing的产生进行感知，从而阻断产生的条件，极大的降低arcing产生的概率，保障设备安全。

主权项：1.一种等离子体腔室arcing的预测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1:获取射频电源的状态信息、腔体的功率信息、所述腔体内的气体信息；S2:对所述状态信息、功率信息、气体信息进行预处理，获取参量数据集；S3:对所述参量数据集内的参量数据进行融合处理，构建贝叶斯网络，获取各参量的概率分布，验证arcing被检测到的概率，获取概率模型；S4:通过概率模型检测各项数据，当arcing产生概率大于设定值时，对所述射频电源进行控制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏神州半导体科技有限公司 一种等离子体腔室arcing的预测方法及装置

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