申请/专利权人：上海大学;上海大学绍兴研究院

申请日：2024-01-04

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117823727A

主分类号：F16L11/04

分类号：F16L11/04;F16L11/08;F16L58/02;F16L58/18;F16L57/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本申请公开了一种耐腐蚀蠕动泵管及用于化学气相沉积炉的蠕动泵，所述蠕动甭管，包括泵管本体，所述泵管本体为双层软管，所述双层软管的内层材质是弹性耐腐蚀树脂；所述蠕动泵管的泵管内层采用耐腐蚀材料，能够抵抗MTS等腐蚀性化学品的侵蚀，有效避免泵管的腐蚀泄漏，泵管外层则对泵管内层提供额外的机械强度和保护，不仅提高了泵管对MTS等腐蚀性化学品的耐腐蚀性，还能在泵管内层破裂时防止化学品泄漏到环境中，进一步降低化学品泄漏风险；本公开的蠕动泵采用了所述耐腐蚀泵管，有效解决由MTS腐蚀引起的安全、环保等问题，为CVD‑SiC制备提供可靠和环保的MTS输送方案。

主权项：1.一种耐腐蚀蠕动泵管，其特征在于，包括：泵管本体；所述泵管本体为双层软管；所述双层软管的内层材质是弹性耐腐蚀树脂。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海大学;上海大学绍兴研究院 一种耐腐蚀蠕动泵管及用于化学气相沉积炉的蠕动泵

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