申请/专利权人：中国科学院福建物质结构研究所

申请日：2019-03-18

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN111704733B

主分类号：C08J5/18

分类号：C08J5/18;C08G83/00;C08L87/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.10.27#实质审查的生效;2020.09.25#公开

摘要：本发明提供一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置，所述装置是利用蠕动泵全自动控制系统，采用液相外延生长法在基底上制备薄膜的装置。所述装置包括恒温循环器、蠕动泵、控制系统、反应容器、溶液瓶，可根据需求对控制系统设置相应参数，精确控制蠕动泵的运行、停止时间，循环次数，反应容器内温度，从而自动地、准确地、高效地、节省人力地制备高质量的薄膜材料，具有合成速度快、制备效率高、反应温度可控、薄膜厚度可控、成本低以及操作简单等优点。

主权项：1.一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置，所述装置是利用蠕动泵全自动控制系统，采用液相外延生长法在基底上制备薄膜的装置；所述装置包括恒温循环器、蠕动泵、控制系统、反应容器、溶液瓶；所述恒温循环器设置在所述反应容器一侧，所述反应容器另一侧与所述蠕动泵连接；所述恒温循环器用于控制反应容器的温度，实现对外部体系的高精度温度控制与测量；所述控制系统与所述蠕动泵连接，用于接收指令信号，并将指令信号转化成指令所述蠕动泵启动与停止的运动；所述溶液瓶为盛放镀膜液的容器，与所述蠕动泵连接，所述连接通过蠕动泵软管实现；所述蠕动泵用于通过所述控制系统的指令，按一定的顺序向所述反应容器中导入所述溶液瓶中的所述镀膜液或排出所述反应容器中的废液；所述反应容器为盛放所述蠕动泵导入的所述镀膜液及放置基底的容器，且能使所述恒温循环器的循环液流经循环，从而保持反应容器温度恒定，减少外部条件对薄膜生长过程的影响；所述恒温循环器使所述反应容器在-20℃～150℃的温度变化范围内制备薄膜；所述恒温循环器的长宽高比例为8:5:12，所述蠕动泵的长宽高比例为5.6:2:3。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院福建物质结构研究所 一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置

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