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【发明公布】双极性方波脉冲源及其方波脉冲发生控制方法_亿隅半导体科技(上海)有限公司_202311869238.3 

申请/专利权人:亿隅半导体科技(上海)有限公司

申请日:2023-12-31

公开(公告)日:2024-04-05

公开(公告)号:CN117833872A

主分类号:H03K3/02

分类号:H03K3/02;H03K5/01;H05H1/24

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要:本发明公开了一种双极性方波脉冲源及其方波脉冲发生控制方法。其中,双极性方波脉冲源,包含:电感电流调节模块;双极性方波发生模块,与电感电流调节模块相连;控制模块,分别与电感电流调节模块、双极性方波发生模块相连;采样模块,分别采集电感电流调节模块和双极性方波发生模块的信号,并传输至控制模块;直流供电模块,分别与电感电流调节模块、双极性方波发生模块相连,直流供电模块提供母线电压。本发明的方波脉冲输出精度高,可在纳秒级别内以极低能量快速灭弧,大大提高应用的生产速度,并且电路简洁、成本较低。

主权项:1.一种双极性方波脉冲源,其特征在于,包含:电感电流调节模块,用于调节输出电流;双极性方波发生模块,所述双极性方波发生模块与所述电感电流调节模块相连,用于向外部的等离子体负载输出方波脉冲;控制模块,所述控制模块分别与所述电感电流调节模块、所述双极性方波发生模块相连;采样模块,所述采样模块分别采集所述电感电流调节模块和所述双极性方波发生模块的信号,并传输至所述控制模块;直流供电模块,所述直流供电模块分别与所述电感电流调节模块、所述双极性方波发生模块相连,所述直流供电模块为所述电感电流调节模块提供母线电压。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 亿隅半导体科技(上海)有限公司 双极性方波脉冲源及其方波脉冲发生控制方法

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