申请/专利权人：西安热工研究院有限公司

申请日：2024-01-03

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117815852A

主分类号：B01D53/22

分类号：B01D53/22;C01B17/45;B01D71/06;B01D69/02;B01D67/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明提出一种六氟化硫气体提纯净化装置及方法，方法包括：开启第一真空泵，将含有杂质的六氟化硫气体引入一级分离室的第一腔室，且使小于第一过滤膜的孔径的第一杂质气体穿过第一过滤膜后进入第二腔室，第一杂质气体经过第一出气管排出；开启第二真空泵，经过第一次除杂后的混合气体通过连接管进入二级分离室的第三腔室，且使大于第二过滤膜的孔径的第二杂质气体通过第三出气管排出后进行收集，经过二次除杂后的六氟化硫气体经过第二过滤膜后进入第四腔室，且通过第二出气管排出后收集。本发明利用锆基金属有机框架膜对六氟化硫气体除杂，使六氟化硫气体在常温下进行提纯与净化，以达到对六氟化硫气体回收再利用的目的。

主权项：1.一种六氟化硫气体提纯净化装置，其特征在于，包括：一级分离室，所述一级分离室具有第一分离腔以及连通所述第一分离腔的第一进气口、第一出气口与第二出气口，所述第一分离腔内连接有第一过滤膜，所述第一过滤膜的孔径小于六氟化硫气体分子的外径，所述第一过滤膜将所述第一分离腔分隔为第一腔室与第二腔室，所述第一进气口与所述第二出气口设于所述第一腔室，所述第一出气口设于所述第二腔室，所述第一进气口连接进气管，所述第一出气口连接第一出气管；二级分离室，所述二级分离室具有第二分离腔以及连通所述第二分离腔的第二进气口、第三出气口与第四出气口，所述第二分离腔内连接有第二过滤膜，所述第二过滤膜的孔径大于六氟化硫气体分子的外径，所述第二过滤膜将所述第二分离腔分隔为第三腔室与第四腔室，所述第二进气口与所述第四出气口设于第三腔室，所述第三出气口设于所述第四腔室，所述第二出气口与所述第二进气口之间通过连接管连接，所述第三出气口连接第二出气管，所述第四出气口连接第三出气管。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安热工研究院有限公司 一种六氟化硫气体提纯净化装置及方法

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