申请/专利权人：内蒙古中环晶体材料有限公司

申请日：2020-11-12

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN114481301B

主分类号：C30B15/20

分类号：C30B15/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2024.03.26#著录事项变更;2022.05.31#实质审查的生效;2022.05.13#公开

摘要：本发明一种降低直拉单晶断苞的生产工艺，在等径初期拉制过程中，晶体生长高度分为四个阶段，分别为第一阶段、第二阶段、第三阶段和第四阶段；在每一阶段中均包括控制晶体生长的晶体转速、石英坩埚转速和热场温度；从第一阶段到第四阶段中，晶体转速先以初始转速运行后缓慢增大，再以恒定转速运行；石英坩埚转速以从转肩处转入等径初期的初始转速稳定不变；稳定热场温度先以从转肩结束时转入等径初期的初始温度稳定运行后缓慢降低，再以恒定温度继续运行。本发明降低石英坩埚于熔体之间的摩擦，减小杂质出现，避免杂质富集于晶体头部段，降低单晶断苞几率；同时改善熔体热气流对晶体质量的影响，使晶体头部的氧含量有所降低，提高产品质量。

主权项：1.一种降低直拉单晶断苞的生产工艺，其特征在于，在转肩之后的等径初期拉制过程中，晶体生长高度分为四个阶段，分别为第一阶段的进入段、第二阶段的过渡段、第三阶段的增长段和第四阶段的稳定段；在每一阶段中均包括控制晶体生长的晶体转速、石英坩埚转速和热场温度；从所述第一阶段到所述第四阶段中，所述晶体转速先以初始转速运行后缓慢增大，再以恒定转速运行；所述石英坩埚转速以从转肩处转入等径初期的初始转速稳定不变；所述热场温度先以从转肩结束时转入等径初期的初始温度稳定运行后缓慢降低，再以恒定温度继续运行；在所述第一阶段中，所述晶体初始转速与其在转肩结束时的转速相同；在所述第二阶段中，所述晶体从初始转速缓慢升高并稳定运行在所述第三阶段和第四阶段中；所述石英坩埚转速始终与其在转肩结束时的转速相同；所述热场温度在所述第一阶段和所述第二阶段中稳定不变，且与其在转肩结束时转入等径初期的初始温度相同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 内蒙古中环晶体材料有限公司 一种降低直拉单晶断苞的生产工艺

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