申请/专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司

申请日：2022-04-22

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN114752911B

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2022.08.02#实质审查的生效;2022.07.15#公开

摘要：本发明的实施例提供了一种行星式穹顶安装架和真空镀膜机，涉及半导体技术领域。行星式穹顶安装架包括行星轨道、行星支架、传动齿轮组、传动杆、万向节和穹顶插口组件，行星轨道为圆环形状，行星轨道的内壁上设置有内齿；行星支架可滑动地安装在行星轨道的内部；传动齿轮组安装在行星支架上，且与内齿啮合；传动杆安装在行星支架上，传动杆的一端与传动齿轮组连接；万向节安装在传动杆上；穹顶插口组件连接在万向节上。行星式穹顶安装架可以实现更平稳的传动，相对传统行星导轨磨损大幅度降低，而且，可以实现穹顶公转和自转的效果，而且可以实现穹顶多角度转动。

主权项：1.一种行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星式穹顶安装架包括：行星轨道（1），为圆环形状，所述行星轨道（1）的内壁上设置有内齿（11）；行星支架（2），可滑动地安装在所述行星轨道（1）的内部；传动齿轮组（3），安装在所述行星支架（2）上，且与所述内齿（11）啮合；传动杆（4），安装在所述行星支架（2）上，所述传动杆（4）的一端与所述传动齿轮组（3）连接；万向节（5），安装在所述传动杆（4）上；穹顶插口组件（6），连接在所述万向节（5）上；所述行星轨道（1）的顶部开设有滑槽（12），所述行星支架（2）的端部下侧安装有滚轮（21），所述滚轮（21）可滚动地设置在所述滑槽（12）内；所述传动齿轮组（3）包括依次啮合的中央主动齿轮（31）、第一传动齿轮（32）、第二传动齿轮（33）和第三传动齿轮（34），所述第三传动齿轮（34）连接在所述传动杆（4）的端部，所述第三传动齿轮（34）与所述内齿（11）啮合。

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权利要求：

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