申请/专利权人：青岛四方思锐智能技术有限公司

申请日：2023-11-27

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117293006B

主分类号：H01J37/317

分类号：H01J37/317;H01J37/30;H01L21/67;H01J37/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2024.01.12#实质审查的生效;2023.12.26#公开

摘要：本公开实施例提供一种射频引出氢氦高能离子注入机，涉及半导体离子注入技术领域。该射频引出氢氦高能离子注入机的具体实施方式包括：射频引出电极的交变电压由射频电源和第一射频加速单元产生，交变电压周期性地从离子源中引出离子束，速度的离散引起离子束在Z向传输方向上产生周期性群聚，通过第一束流整形电四极透镜和第二束流整形电四极透镜整形后，传输给射频加速系统，经射频加速系统加速到高能量状态的离子束传输至能量分析器进行筛选，通过电场扫描系统展开能量分析器筛选之后的离子束，再经由束流平行化透镜产生平行的离子束流，最后传输至靶室完成注入。该实施方式能够减小高能离子注入机的体积、减小机台占地面积，降低注入成本。

主权项：1.一种射频引出氢氦高能离子注入机，其特征在于，包括：离子源（101）、射频引出电极（102）、抑制电极（103）、三坐标地电极（104）、第一束流整形电四极透镜（105）、第二束流整形电四极透镜（106）、射频加速系统（107）、能量分析器（108）、电场扫描系统（109）、束流平行化透镜（110）和靶室（111），其中：所述射频引出电极（102）的交变电压由射频电源（1021）和第一射频加速单元（1022）产生，所述交变电压周期性地从所述离子源（101）中引出离子束，速度的离散引起离子束在Z向传输方向上产生周期性群聚，通过所述第一束流整形电四极透镜（105）和所述第二束流整形电四极透镜（106）整形后，传输给所述射频加速系统（107），经所述射频加速系统（107）加速到高能量状态的离子束传输至所述能量分析器（108）进行筛选，通过所述电场扫描系统（109）在至少一个方向上展开所述能量分析器（108）筛选之后的离子束，再经由所述束流平行化透镜（110）产生平行的离子束流，最后传输至所述靶室（111）完成注入。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛四方思锐智能技术有限公司 一种射频引出氢氦高能离子注入机

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