申请/专利权人：和舰芯片制造(苏州)股份有限公司

申请日：2023-07-12

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN220730953U

主分类号：G08B21/18

分类号：G08B21/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权

摘要：本实用新型公开了芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其包括：电源电路，为系统提供所需电能；清洗模块，对晶圆表面进行清洗，与电源电路通信连接；监测模块，所述监测模块由漏液传感器、信号处理模块和报警模块组成，所述漏液传感器用于监测清洗模块发生异常，生成电信号传输至信号处理模块，所述信号处理模块将电信号转换成触发信号并传输至报警模块，监测模块和清洗模块连接于电源电路上；控制模块，与电源电路、清洗模块和监测模块通信连接，控制机台的开关及运行。本实用新型在原有机台的基础上，加装了监测模块，通过监测清洗模块是否发生异常，实现实时报警，避免影响晶圆的电性参数，从而提升产品的品质，进而提高了经济效益。

主权项：1.一种芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其特征在于，包括：电源电路，所述电源电路用于为系统提供所需电能；清洗模块，所述清洗模块用于对晶圆表面进行清洗，所述清洗模块与所述电源电路通信连接；监测模块，所述监测模块由漏液传感器、信号处理模块和报警模块组成，所述漏液传感器用于当监测到所述清洗模块发生异常时，生成电信号并传输至信号处理模块，所述信号处理模块将所述电信号转换成触发信号并传输至所述报警模块，所述监测模块和清洗模块并联连接于所述电源电路上；控制模块，所述控制模块与所述电源电路、所述清洗模块和所述监测模块通信连接，并设置为控制所述机台的开关及运行。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 和舰芯片制造(苏州)股份有限公司 芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统及芯片清洗机台

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