申请/专利权人:福建晶安光电有限公司
申请日:2023-12-26
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117878215A
主分类号:H01L33/46
分类号:H01L33/46;H01L33/20;H01L33/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要:本发明涉及半导体制程技术领域,提供一种图形化衬底结构,包括衬底层和若干个均匀分布于衬底层上表面的凸起结构;衬底层包括由下至上依次层叠的第一衬底层、反射层和第二衬底层,反射层均匀沉积于第一衬底层上表面,第二衬底层的厚度小于第一衬底层的厚度。本发明提供的一种图形化衬底结构,其在衬底层内嵌有完整的反射层,反射层将透射进衬底层内部的光线反射回图形顶部,减少光线在图形内部的损耗,有效地提高了光提取效率。
主权项:1.一种图形化衬底结构,其特征在于:包括衬底层和若干个均匀分布于所述衬底层上表面的凸起结构;所述衬底层包括由下至上依次层叠的第一衬底层、反射层和第二衬底层,所述反射层均匀沉积于所述第一衬底层上表面,所述第二衬底层的厚度小于所述第一衬底层的厚度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 福建晶安光电有限公司 一种图形化衬底结构及制备方法、LED外延结构、LED芯片
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