申请/专利权人：广东工业大学

申请日：2024-01-12

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867446A

主分类号：C23C14/06

分类号：C23C14/06;C23C14/32;C23C14/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种氮化铬铝硼铈氮化铌多层超厚涂层及其沉积方法，氮化铬铝硼铈氮化铌多层超厚涂层包括位于基体外侧的纯铌粘结层，所述纯铌粘结层的外侧设有氮化铌层和氮化铬铝硼铈纳米复合层形成的交替多层结构；其中，所述纯铌粘结层的厚度为0.2‑1.0μm，所述氮化铌层和氮化铬铝硼铈纳米复合层的交替周期为5‑50次，任一周期中的所述氮化铌层的厚度为0.1‑1.0μm，任一周期中的所述氮化铬铝硼铈纳米复合层的厚度为0.2‑2μm，所述涂层的总厚度10‑150μm。本发明提供的一种氮化铬铝硼铈氮化铌多层超厚涂层兼具高硬度、高耐热性、低内应力和高的涂层厚度的优点。

主权项：1.一种氮化铬铝硼铈氮化铌多层超厚涂层，其特征在于，包括位于基体外侧的纯铌粘结层，所述纯铌粘结层的外侧设有氮化铌层和氮化铬铝硼铈纳米复合层形成的交替多层结构；其中，所述纯铌粘结层的厚度为0.2-1.0μm，所述氮化铌层和氮化铬铝硼铈纳米复合层的交替周期为5-50次，任一周期中的所述氮化铌层的厚度为0.1-1.0μm，任一周期中的所述氮化铬铝硼铈纳米复合层的厚度为0.2-2μm，所述涂层的总厚度10-150μm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东工业大学 一种氮化铬铝硼铈/氮化铌多层超厚涂层及其沉积方法

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