申请/专利权人：西安工业大学

申请日：2024-01-26

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867447A

主分类号：C23C14/06

分类号：C23C14/06;C23C14/35;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明属于高熵合金材料技术领域，公开一种硬质高熵合金氮化物薄膜材料及其制备方法，所述硬质高熵合金氮化物薄膜材料按原子质量百分数计，由以下组分组成：Al9％～12％、Ti9％～12％、Cr9％～12％、Nb7％～10％、Y3％～6％、N50％～60％，合计100％；且其组织结构为体心立方结构与面心立方结构共存的双相结构。本发明制备的薄膜元素分布均匀，表面粗糙度小；由于含有Al、Cr、Ti等耐蚀元素，具有优异的耐腐蚀性能；同时，由于元素原子尺寸差异较大，且与氮元素结合形成金属氮化物，大大提高了薄膜的硬度和弹性模量。

主权项：1.一种硬质高熵合金氮化物薄膜材料，其特征在于，所述硬质高熵合金氮化物薄膜材料按原子质量百分数计，由以下组分组成：Al9％～12％、Ti9％～12％、Cr9％～12％、Nb7％～10％、Y3％～6％、N50％～60％，合计100％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安工业大学 一种硬质高熵合金氮化物薄膜材料及其制备方法

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