申请/专利权人:北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日:2023-12-26
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117870434A
主分类号:F28D21/00
分类号:F28D21/00;F28F11/00;F28F19/01;F28F27/00;C02F1/38;C02F1/00;B01D53/18;C02F103/18
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要:本申请提供水循环换热系统,涉及半导体废气处理技术领域。本申请的水循环换热系统包括水箱装置;泥水分离装置,与水箱装置连通,用于过滤水箱装置溶解废气后产生的废水;换热器与泥水分离装置连通,换热器的一侧与冷却水系统连接便于换热;循环水分流器与换热器连通,用于将换热器冷却后的循环水输送回废气处理设备和水箱装置形成水循环;循环驱动装置,用于驱动水的输送和循环。通过水箱装置溶解废气后产生废水,杂质通过泥水分离装置排出,废水过滤出杂质后形成可回收的循环水,冷却水系统通过换热器吸收循环水的热量实现换热和冷却,冷却后的循环水从换热器通过循环水分流器输送回废气处理设备和水箱装置形成水循环。
主权项:1.一种水循环换热系统,其特征在于,包括:水箱装置,用于溶解废气处理设备中的废气;泥水分离装置,与所述水箱装置连通,用于过滤所述水箱装置溶解废气后产生的废水;换热器,与所述泥水分离装置连通,用于对泥水分离装置过滤后的循环水进行换热冷却,所述换热器的一侧与冷却水系统连接便于换热;循环水分流器,与所述换热器连通,用于将所述换热器冷却后的循环水输送回所述废气处理设备和所述水箱装置形成水循环;循环驱动装置,用于驱动水的输送和循环。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 水循环换热系统
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