申请/专利权人：浙江泓芯半导体有限公司

申请日：2024-01-10

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878039A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/673

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了用于半导体制造过程中石英舟转移设备，属于半导体领域。用于半导体制造过程中石英舟转移设备，包括设置在第一工位与第二工位之间的安装架、设置在安装架上的转移机构和夹持机构；所述夹持机构包括纵向滑动在安装架上的夹持架、设置在夹持架上的菱形伸缩架。所述菱形伸缩架上等间距安装有多个定位杆；随着菱形伸缩架的伸缩，相邻的两个定位杆之间的间距同步变化；各个所述定位杆外壁设置有膨胀气囊；当膨胀气囊发生膨胀时，相邻的两个膨胀气囊将加紧一个晶圆。本方案通过控制菱形伸缩架运动，可以改变膨胀气囊之间的间距，可以适配不同型号的石英舟，使用场景广泛，无需人工更换配件。

主权项：1.用于半导体制造过程中石英舟转移设备，其特征在于：包括设置在第一工位11与第二工位12之间的安装架13、设置在安装架13上的转移机构2和夹持机构3；所述夹持机构3包括纵向滑动在安装架13上的夹持架31、设置在夹持架31上的菱形伸缩架5；所述菱形伸缩架5上等间距安装有多个定位杆52；随着菱形伸缩架5的伸缩，相邻的两个定位杆52之间的间距同步变化；各个所述定位杆52外壁设置有膨胀气囊53；当膨胀气囊53发生膨胀时，相邻的两个膨胀气囊53将加紧一个晶圆15。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江泓芯半导体有限公司 用于半导体制造过程中石英舟转移设备

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