申请/专利权人：瑆科仪器(广州)有限公司

申请日：2024-02-29

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117872576A

主分类号：G02B21/00

分类号：G02B21/00;G02B21/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请涉及一种线扫描共聚焦显微系统，包括：光源组件；第一镜组，设置于光源组件沿第一方向的出光侧，第一镜组包括分光棱镜，分光棱镜包括相对的第一面和第二面，第一面朝向光源组件；高速扫描振镜设置于第一镜组沿第一方向背离光源组件的一侧，高速扫描振镜包括反光面，反光面朝向第一镜组；高速扫描振镜沿第一方向可移动设置；第二镜组，设置于高速扫描振镜沿第二方向的一侧，第二镜组包括四焦距透镜组；物镜，设置于第二镜组沿第二方向背离高速扫描振镜的一侧；承载组件设置于物镜沿第二方向背离第二镜组的一侧；成像组件设置于第一镜组沿第二方向的一侧，第二面朝向成像组件。本申请公开的线扫描共聚焦显微系统，可以提高晶圆检测效率。

主权项：1.一种线扫描共聚焦显微系统，其特征在于，包括：光源组件，沿第一方向发射激光光线；第一镜组，设置于所述光源组件沿所述第一方向的出光侧，所述第一镜组包括分光棱镜，所述分光棱镜包括相对的第一面和第二面，所述第一面朝向光源组件；高速扫描振镜，设置于所述第一镜组沿所述第一方向背离所述光源组件的一侧，所述高速扫描振镜包括反光面，所述反光面朝向所述第一镜组；所述高速扫描振镜沿所述第一方向可移动设置；第二镜组，设置于所述高速扫描振镜沿第二方向的一侧，所述第二镜组包括四焦距透镜组；所述第一方向和所述第二方向垂直；物镜，设置于所述第二镜组沿所述第二方向背离所述高速扫描振镜的一侧；承载组件，设置于所述物镜沿所述第二方向背离所述第二镜组的一侧；成像组件，设置于所述第一镜组沿所述第二方向的一侧，所述第二面朝向所述成像组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑆科仪器(广州)有限公司 线扫描共聚焦显微系统

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