申请/专利权人：厦门大学

申请日：2023-10-07

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870944A

主分类号：G01L11/02

分类号：G01L11/02;G01L19/00;G01L19/14;G01D5/353

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：一种具有法珀谐振腔的压力传感器、系统和制作方法，包括固定套、筒体、压力敏感芯片、光纤校准器和蓝宝石光纤；所述筒体内设有具有开口的防护槽；所述压力敏感芯片安装于所述防护槽内并设有复合式法珀谐振腔；所述固定套固定于所述防护槽的开口端以压紧并固定所述压力敏感芯片；所述光纤校准器穿设于所述筒体且与所述法珀谐振腔对准干涉；所述蓝宝石光纤穿设于所述光纤校准器。本发明结构合理，传感器能稳定够满足1400℃以上的超高温环境下的动态压力测量。

主权项：1.一种具有法珀谐振腔的压力传感器，其特征在于：包括固定套、筒体、压力敏感芯片、光纤校准器和蓝宝石光纤；所述筒体内设有具有开口的防护槽；所述压力敏感芯片安装于所述防护槽内并设有复合式法珀谐振腔；所述固定套固定于所述防护槽的开口端以压紧并固定所述压力敏感芯片，所述固定套还设有贯通的通道，所述通道连通至所述压力敏感芯片对应侧；所述光纤校准器穿设于所述筒体且与所述法珀谐振腔对准干涉；所述蓝宝石光纤穿设于所述光纤校准器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门大学 一种具有法珀谐振腔的压力传感器、系统和制作方法

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