申请/专利权人：视睿(杭州)信息科技有限公司

申请日：2024-03-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871416A

主分类号：G01N21/01

分类号：G01N21/01;G01N21/95;H01L21/66;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请公开的一种晶粒坐标排序方法及系统，所述方法包括以下步骤：按照预设的折返式扫描轨迹扫描整待测料片，进行图像采集，得到一系列局部含小料的拍摄图像；并将采集到的拍摄图像进行分发；根据预设模板，对图片进行定位小料和缺陷检测，然后根据缺陷检测结果，按照缺陷类型对图片进行分选；根据分选结果以及预设扫描轨迹，采用八邻域方式对晶粒进行排序，并输出排序结果。所述系统包括：图像采集模块、检测模块、排序模块。本申请预设的折返式扫描轨迹可提高图像采集的效率，通过针对单行或单列拍摄的所有图片上小料进行八邻域排序，然后对多行实现八邻域方式的拼接，可有效提高排序效率。

主权项：1.一种晶粒坐标排序方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：按照预设扫描轨迹拍摄整张待测料片，进行图像采集，得到一系列含小料的拍摄图像；并将含小料的拍摄图像进行分发；根据预设模板，对分发后的含小料的拍摄图像进行小料定位和缺陷检测，然后根据缺陷检测结果，按照缺陷类型对含小料的拍摄图像进行分选；根据分选结果以及预设扫描轨迹，采用八邻域方式对晶粒进行坐标排序，并输出排序结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 视睿(杭州)信息科技有限公司 一种晶粒坐标排序方法及系统

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