申请/专利权人：山东有研艾斯半导体材料有限公司

申请日：2024-02-22

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117863072A

主分类号：B24B41/00

分类号：B24B41/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种用于硅片双面抛光机的快插销轴，能够有效防止双面抛光机作业过程中销轴的径向跳动。该快插销轴包括轴套、销轴和轴座；销轴设置在轴套内部，销轴的下端与轴座连接；轴套内部设有限位台肩，销轴顶端与限位台肩底端接触，通过将锁紧螺栓与销轴顶部螺纹连接，实现销轴与轴套锁紧；销轴包括轴体、卡槽和竹节结构，竹节结构设置在轴体的下端，卡槽设置在轴体与竹节结构之间，竹节结构底端设有下轴孔，轴体上端设有与锁紧螺栓匹配的上螺纹孔；轴座包括压环、弹性滚珠组件、弹簧和底座短轴，弹性滚珠组件安装在压环内部并与销轴的卡槽相配合，弹簧安装在底座短轴上，弹簧顶端与压环底端接触；底座短轴与销轴竹节结构的下轴孔为轴孔配合。

主权项：1.一种用于硅片双面抛光机的快插销轴，其特征在于，包括轴套、销轴和轴座；其中，销轴设置在轴套内部，销轴的下端与轴座连接；轴套内部设有限位台肩，销轴顶端与限位台肩底端接触，通过将锁紧螺栓与销轴顶部螺纹连接，实现销轴与轴套锁紧；销轴包括轴体、卡槽和竹节结构，竹节结构设置在轴体的下端，卡槽设置在轴体与竹节结构之间，竹节结构底端设有下轴孔，轴体上端设有与锁紧螺栓匹配的上螺纹孔；轴座包括压环、弹性滚珠组件、弹簧和底座短轴，弹性滚珠组件安装在压环内部并与销轴的卡槽相配合，弹簧安装在底座短轴上，弹簧顶端与压环底端接触；底座短轴与销轴竹节结构底端的下轴孔为轴孔配合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东有研艾斯半导体材料有限公司 一种用于硅片双面抛光机的快插销轴

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