申请/专利权人：北京中科九微科技有限公司

申请日：2024-03-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117869336A

主分类号：F04D19/04

分类号：F04D19/04;F04D29/58;F04D29/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及真空获得设备技术领域，具体涉及一种干泵。一种干泵，包括：壳体组件，设有内部腔室，侧壁设有进气口，壳体组件包括低真空侧壳体；复合叶轮，设于内部腔室内，复合叶轮设有涡轮级，涡轮级以吸入自进气口进入的气体；主轴，设于内部腔室内，主轴包括连接段和螺杆段，复合叶轮套设于连接段的外周壁上，螺杆段的外周壁上设有第一螺旋凹槽，低真空侧壳体套设于螺旋段的外周，低真空侧壳体对应第一螺旋凹槽的侧壁上设有排气口，在工作状态下，主轴转动，涡轮级先吸入气体，使气体再在第一螺旋凹槽内受到压缩，气体随第一螺旋凹槽转动而排出至排气口外。本发明解决高真空泵在获得高真空时，需要与其它种类泵配合方能将气体排入大气中问题。

主权项：1.一种干泵，其特征在于，包括：壳体组件，所述壳体组件设有内部腔室，所述壳体组件的侧壁设有进气口29，所述壳体组件包括低真空侧壳体3；复合叶轮13，设于所述内部腔室内，所述复合叶轮13设有涡轮级，所述涡轮级以吸入自进气口29进入的气体；主轴1，设于所述内部腔室内，所述主轴1包括连接段和螺杆段23，所述复合叶轮13套设于连接段的外周壁上，所述螺杆段23的外周壁上设有第一螺旋凹槽24，所述低真空侧壳体3套设于螺旋段的外周，所述低真空侧壳体3对应第一螺旋凹槽24的侧壁上设有排气口12，在工作状态下，主轴1转动，所述涡轮级先吸入气体，使气体再在第一螺旋凹槽24内受到压缩，气体随第一螺旋凹槽24转动而排出至排气口12外。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京中科九微科技有限公司 一种干泵

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