申请/专利权人：IMEC非营利协会;鲁汶天主教大学

申请日：2023-10-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867469A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/30

优先权：["20221012 EP 22201093.6"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：本公开涉及一种过渡金属二硫属化物的沉积方法，该方法包括：通过金属有机化学气相沉积工艺在基底上沉积过渡金属二硫属化物层，包括将所述基底暴露于包含过渡金属前体和硫属前体的反应气体混合物，其中，所述混合物还包括基于气相卤素的反应物，以使沉积在基底上的过渡金属吸附原子挥发。

主权项：1.一种沉积过渡金属二硫属化物的方法，所述方法包括：通过金属有机化学气相沉积工艺在基底上沉积过渡金属二硫属化物层，包括将所述基底暴露于包含过渡金属前体和硫属前体的反应气体混合物，其中，所述混合物还包括基于气相卤素的反应物，以使沉积在基底上的过渡金属吸附原子挥发。

全文数据：

权利要求：

百度查询： IMEC非营利协会;鲁汶天主教大学 沉积过渡金属二硫属化物的方法

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