申请/专利权人：深圳市智立方自动化设备股份有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878046A

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L23/544;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明提供了一种分选机膜缩标兵补偿方法及装置，所述方法包括：标兵选定步骤，其中，所述标兵为待挑拣晶粒位移偏差补偿的相对参考坐标位置；偏移计算步骤，计算待挑拣晶粒的位移偏差量，所述位移偏差量用于补偿待挑选晶粒的坐标。本发明通过在正常晶粒中，按等行列间距预选部分晶粒作为参考的标兵，通过标兵算法来预测需要挑选的晶粒位置，解决挑不准的问题，进而提升分选的精度，减小空洞、立晶、浮晶等。

主权项：1.一种分选机膜缩标兵补偿方法，其特征在于，所述方法包括：标兵选定步骤，其中，所述标兵为待挑拣晶粒位移偏差补偿的相对参考坐标位置；偏移计算步骤，计算待挑拣晶粒的位移偏差量，所述位移偏差量用于补偿待挑选晶粒的坐标；所述偏移计算步骤具体为：将膜缩前相邻标兵连接成第一四边形，膜缩后相邻标兵连接成第二四边形；获取膜缩前待挑拣晶粒坐标点的水平线与垂直线与第一四边形的4个交点；用双线性插值方法近似求解得到偏移后的4个交点坐标；将膜缩后相对边交点相连，得到第一直线和第二直线；求解所述第一直线和第二直线的交点坐标，即为待挑拣晶粒补偿后的坐标位置；以及，计算补偿量。本发明还提供了一种分选机膜缩标兵补偿装置，所述装置包括标兵选定模块、偏移计算模块；其中，所述标兵为待挑拣晶粒位移偏差补偿的相对参考坐标位置；所述偏移计算模块，用于计算待挑拣晶粒的位移偏差量，所述位移偏差量用于补偿待挑选晶粒的坐标。所述偏移计算模块包括：第一子模块，用于将膜缩前相邻标兵连接成第一四边形，膜缩后相邻标兵连接成第二四边形；第二子模块，用于获取膜缩前待挑拣晶粒坐标点的水平线与垂直线与第一四边形的4个交点；第三子模块，用于采用双线性插值方法近似求解得到偏移后的4个交点坐标；第四子模块，用于将膜缩后相对边交点相连，得到第一直线和第二直线；第五子模块，用于求解所述第一直线和第二直线的交点坐标，即为待挑拣晶粒补偿后的坐标位置；第六子模块，用于计算补偿量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市智立方自动化设备股份有限公司 一种分选机膜缩标兵补偿方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD