申请/专利权人：EV集团E·索尔纳有限责任公司

申请日：2021-11-02

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117882180A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/78

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及一种用于补偿7基板1的基板表面1a、1p上的变形4的方法及装置，一种用于接合两个基板的方法以及一种产品。

主权项：1.一种用于补偿7基板1的至少一个基板表面1a、1p上的变形4的方法，其中至少一个局部作用在所述基板表面的至少一个上产生。

全文数据：

权利要求：

百度查询： EV集团E·索尔纳有限责任公司 用于补偿变形的方法及装置

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