申请/专利权人:福建华佳彩有限公司
申请日:2023-12-11
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117878035A
主分类号:H01L21/677
分类号:H01L21/677;H01J37/32;G02F1/13
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要:一种液晶面板干蚀刻机的基板生产搬送方法及存储介质,包括:产品卡匣由自动化机器搬送到设备卡匣位,待生产;设备接收到系统的配方信息;自动匹配可进行生产的制程腔室;LL夹持预定位PCx基板;TM上手臂取LL内基板;判断制程腔PCx是否可生产;TM上手臂将基板放入PCx生产,否,TM下手臂将LL内基板取出;TM上手臂将基板放入LL;LL夹持预定位PCy基板;TM上手臂取LL内基板;TM下手臂将基板放入LL;机台生产。本发明优化生产搬送流程,提高干蚀刻机机台生产效率。
主权项:1.一种液晶面板干蚀刻机的基板生产搬送方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤S1:产品卡匣由自动化机器搬送到设备卡匣位,待生产;步骤S2:设备接收到系统的配方信息;步骤S3:自动匹配可进行生产的制程腔室;步骤S4:LL夹持预定位PCx基板;步骤S5:TM上手臂取LL内PCx基板;步骤S6:判断制程腔PCx是否可生产;是,转入步骤S7,否,转入步骤S8;步骤S7:TM上手臂将PCx基板放入制程腔PCx生产,转入步骤13;步骤S8:TM下手臂将LL内PCy基板取出;步骤S9:TM上手臂将PCx基板放入LL;步骤S10:LL夹持预定位PCy基板;步骤S11:TM上手臂取LL内PCy基板步骤S12:TM下手臂将PCy基板放入制程腔PCy生产;步骤S13:机台生产。
全文数据:
权利要求:
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