申请/专利权人：川崎重工业株式会社

申请日：2019-06-27

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN112368819B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;B25J15/08

优先权：["20180629 JP 2018-125253"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权;2021.03.05#实质审查的生效;2021.02.12#公开

摘要：一种基板搬送装置，具备机械臂（30）；基板把持手（20）；执行器（40），使基板把持手（20）绕横摇轴旋转；以及控制装置（110），构成为执行：（A）以使基板（10）以基板把持手（20）的第一卡合构件（51）与第二卡合构件（52）保持的方式，使机械臂（30）动作；（B）在（A）之后，以基板（10）的第一主面（10A）位于比基座构件（50）上方，且第一主面（10A）的法线朝向比水平面（H）下方的方式，使执行器（40）动作；及（C）藉由可动导引构件（60）往基座构件（50）的梢端部侧移动，使得通过第二卡合构件（52）与第三卡合构件（53）与可动导引构件（60）把持基板（10）。

主权项：1.一种基板搬送装置，将以垂直或倾斜姿势被保持的基板把持并搬送，其特征在于：前述基板搬送装置具备机械臂；基板把持手，配设于前述机械臂的梢端部；执行器，使前述基板把持手绕横摇轴旋转；以及控制装置；前述基板把持手具有板状的基座构件、第一卡合构件，配置于前述基座构件的基端部的下部、第二卡合构件，配置于前述基座构件的梢端部的下部、第三卡合构件，配置于前述基座构件的梢端部的上部、和可动导引构件，构成为可于前述横摇轴方向移动；前述控制装置构成为执行：（A）以使前述基板通过前述基板把持手的前述第一卡合构件与前述第二卡合构件保持的方式，使前述机械臂动作；（B）在前述（A）之后，以前述基板的作为与前述基座构件相向的一侧的主面的第一主面位于比前述基座构件上方，且前述第一主面的法线朝向比水平面下方的方式，使前述执行器动作，从而使前述基板把持手倾斜以变更把持中的基板的姿势；及（C）藉由前述可动导引构件往前述基座构件的梢端部侧移动而按压前述基板的周面，使得通过前述第二卡合构件与前述第三卡合构件与前述可动导引构件把持前述基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 川崎重工业株式会社 基板搬送装置及其运转方法

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