申请/专利权人：珠海芯试界半导体科技有限公司

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117873183A

主分类号：G05D7/06

分类号：G05D7/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请公开了一种IC测试气体流量控制方法及系统，该气体流量控制方法包括以下步骤：拍摄IC测试期间的图片，得到IC测试期间图片；将所述IC测试期间图片与清洁标准IC图片进行对比，获取图片差异程度；根据所述图片差异程度，控制清洁IC表面的气体的流量。该气体流量控制系统包括：图片拍摄装置、图片差异程度获取装置和气体流量控制装置。该存储介质包括存储器和处理器。本申请具有气体流量的控制精度非常高等优点。

主权项：1.一种IC测试期间的气体流量控制方法，其特征在于，包括以下步骤：拍摄IC测试期间的图片，得到IC测试期间图片；将所述IC测试期间图片与清洁标准IC图片进行对比，获取图片差异程度；根据所述图片差异程度，控制清洁IC表面的气体的流量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 珠海芯试界半导体科技有限公司 一种IC测试气体流量控制方法及系统

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