申请/专利权人：西北核技术研究所

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871564A

主分类号：G01N23/20008

分类号：G01N23/20008;G01N23/207

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及一种基于平晶衍射的软X射线能谱测量装置，包括真空输运管道、测量靶室、针孔阵列、晶体调节支架、衍射晶体、辐射‑可见光转换系统、分束光纤传光束、光电探测器阵列、供电及信号处理系统、电磁屏蔽系统、辐射屏蔽系统。还涉及一种基于平晶衍射的软X射线能谱测量方法，通过针孔阵列建立多个软X射线测量通道，采用衍射晶体对入射的软X射线进行衍射；经过衍射的X射线被辐射‑可见光转换系统吸收并转换为可见光；分束光纤传光束将可见光平均分配至光电探测器阵列转换为电信号输出并记录。本发明采用分束光纤传光束分路设计，获得更大范围的测量灵敏度以及线性动态范围。采用电磁屏蔽系统，提高了输出信号的信噪比。

主权项：1.一种基于平晶衍射的软X射线能谱测量装置，其特征在于，包括真空输运管道1、测量靶室2、针孔阵列3、晶体调节支架4、至少一个衍射晶体5、辐射-可见光转换系统6、分束光纤传光束7、光电探测器阵列8、供电及信号处理系统9、电磁屏蔽系统10、辐射屏蔽系统11；所述真空输运管道1与测量靶室2通过真空法兰连接；所述针孔阵列3位于真空输运管道1内，所述晶体调节支架4、衍射晶体5位于测量靶室2内，所述衍射晶体5固定在所述晶体调节支架4上，衍射晶体5中心与针孔阵列3中对应针孔中心、源区中心共线；所述测量靶室2设置支管道12，所述支管道12由测量靶室2侧壁垂直向外延伸，辐射-可见光转换系统6设置于支管道12的外端，所述分束光纤传光束7将辐射-可见光转换系统6发出的可见光输运至光电探测器阵列8，所述光电探测器阵列8的信号传输至供电及信号处理系统9进行处理；分束光纤传光束7、光电探测器阵列8、供电及信号处理系统9位于电磁屏蔽系统10内，电磁屏蔽系统10对分束光纤传光束7、光电探测器阵列8、供电及信号处理系统9实施电磁屏蔽；所述辐射屏蔽系统11位于真空输运管道1、测量靶室2、辐射-可见光转换系统6、分束光纤传光束7、电磁屏蔽系统10的外侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西北核技术研究所 一种基于平晶衍射的软X射线能谱测量装置及方法

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