申请/专利权人：天航长鹰(江苏)科技有限公司

申请日：2022-05-17

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114894124B

主分类号：G01B11/26

分类号：G01B11/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2024.04.02#专利申请权的转移;2024.03.29#专利申请权的转移;2022.08.30#实质审查的生效;2022.08.12#公开

摘要：本发明属于角度测量领域，具体涉及一种干涉式角度测量系统及测量方法。包括棱柱反射镜和第一检测模组，所述棱柱反射镜用于与被测物品连接，所述第一检测模组设置于所述棱柱反射镜外部；所述第一检测模组包括，激光器，所述激光器用于发出测量激光；激光分散单元，所述激光分散单元与所述激光器对应设置，用于将所述激光器发出的单束激光分散为两束激光，并引导两束激光照射至棱柱反射镜；透镜，所述透镜用于接收所述棱柱反射镜反射出的两束激光，并将两束激光聚焦至干涉分析单元；干涉分析单元，干涉分析单元用于分析干涉状态变化。本发明提供一种干涉式角度测量系统及测量方法，其目的在于解决现有的角度测量方法无法达到高精度测量的问题。

主权项：1.一种干涉式角度测量系统，其特征在于：包括棱柱反射镜1和第一检测模组7，所述棱柱反射镜1用于与被测物品连接，并与被测物品同轴转动，所述第一检测模组7固定设置于所述棱柱反射镜1外部；所述第一检测模组7包括，激光器2，所述激光器2用于发出测量激光；激光分散单元，所述激光分散单元与所述激光器2对应设置，用于将所述激光器2发出的单束激光分散为两束相干激光，并引导两束相干激光互相平行照射至棱柱反射镜1；所述激光分散单元包括分光镜5和反光镜6，所述分光镜5对应所述激光器2设置，用于将测量激光分为两束相干激光，所述反光镜6用于将两束激光调整为互相平行；透镜3，所述透镜3用于接收所述棱柱反射镜1反射出的两束激光，使得两束激光发生干涉，并将两束激光聚焦至干涉分析单元；干涉分析单元，干涉分析单元用于检测和分析初始状态与棱柱反射镜1转动后和或转动时状态下的干涉变化，从而得出角度变化。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天航长鹰(江苏)科技有限公司 一种干涉式角度测量系统及测量方法

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