申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所

申请日：2022-06-20

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN115128002B

主分类号：G01N21/01

分类号：G01N21/01;G01N21/84

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.10.25#实质审查的生效;2022.09.30#公开

摘要：本发明提供了一种测量材料非线性光学性质的系统及方法，其中，测量方法是将Z扫描技术和共焦显微成像集成在一起，采用显微物镜进行激发光聚焦、信号光收集、样品表面形貌成像以及光斑同步成像，实现光斑大小的实时监测；使用三维精密平移台控制样品位置，可以实现对微米级样品非线性光学性质的测量。本发明方法可以同步测量材料非线性吸收和非线性折射数据，同时适用于均匀和非均匀、宏观和微观样品的测量，解决了非均匀不规则小尺寸样品非线性性质测试难题，扩展了Z扫描技术的应用及测试范围。

主权项：1.一种测量材料非线性光学性质的系统，其特征在于，包括脉冲激光器、沿所述脉冲激光器的输出光束方向依次设置的第一镀膜全反镜、第二镀膜全反镜、圆形金属膜中性密度渐变滤光片、第一小孔光阑、第一分光平片、第二分光平片、聚焦物镜、待测样品、收集物镜、第二小孔光阑、第三分光平片、第二中型密度滤光片和第二探测器；沿所述第一分光平片的反射光方向依次设置有第一中性密度滤光片和第一探测器，沿所述第一分光平片的反射方向的另一侧设置有照明光源氙灯；沿所述第二分光平片的反射方向的另一侧设置有成像相机；沿所述第三分光平片的反射方向依次设置有第三小孔光阑、第三中性密度滤光片和第三探测器；还包括与所述第一探测器、第二探测器和第三探测器分别电连接的计算机；所述待测样品设置在三维精密平移台上，所述三维精密平移台通过控制器与所述计算机电连接；所述成像相机与所述计算机电连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种测量材料非线性光学性质的系统及方法

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