申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社
申请日:2020-10-27
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN112729066B
主分类号:G01B5/20
分类号:G01B5/20;G01B11/00;G01B11/24
优先权:["20191028 JP 2019-195529"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权;2022.07.12#实质审查的生效;2021.04.30#公开
摘要:本公开提供一种测定用探测器以及形状测定装置,测定用探测器通过扫描测定物的表面来对测定物表面的三维形状等进行测定,具备:第1可动部,具有触针;第2可动部,能够在Z方向上移动地与第1可动部连结;第3可动部,能够在Z方向上移动地与第2可动部连结;第1位置测定部,测定第1可动部在Z方向上的第1位置;第2位置测定部,测定第2可动部在Z方向上的第2位置;第3位置测定部,测定第3可动部在Z方向上的第3位置,第1相对位置基于第1位置和第2位置来计算,第2相对位置基于第1位置和第3位置来计算,第2可动部相对于第1可动部的Z方向上的第1相对位置和第3可动部相对于第1可动部的Z方向上的第2相对位置被维持为固定。
主权项:1.一种测定用探测器,通过扫描测定物的表面来对所述测定物的表面的三维形状进行测定,所述测定用探测器具备:第1可动部,具有触针;第2可动部,以能够在Z方向上移动的方式与所述第1可动部连结;第3可动部,在内部设置有容纳所述第2可动部的空间,以能够在所述Z方向上移动的方式与所述第2可动部连结;第1位置测定部,对所述第1可动部在所述Z方向上的第1位置进行测定;第2位置测定部,对所述第2可动部在所述Z方向上的第2位置进行测定;和第3位置测定部,对所述第3可动部在所述Z方向上的第3位置进行测定,第1相对位置基于所述第1位置和所述第2位置来计算,第2相对位置基于所述第1位置和所述第3位置来计算,所述第2可动部相对于所述第1可动部的所述Z方向上的所述第1相对位置和所述第3可动部相对于所述第1可动部的所述Z方向上的所述第2相对位置被维持为固定。
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权利要求:
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