申请/专利权人：株式会社荏原制作所

申请日：2018-03-13

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114109832B

主分类号：F04C25/02

分类号：F04C25/02;F04C28/28;F04D19/04;F04D27/00

优先权：["20170317 JP 2017-052189","20170518 JP 2017-098691","20170518 JP 2017-098899","20170915 JP 2017-177611","20180202 JP 2018-016875"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开

摘要：一种信息处理装置，具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。

主权项：1.一种信息处理装置，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理装置的特征在于，具备：决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果，所述决定部使用对象真空泵的过去的对象状态量或其他真空泵的过去的对象状态量，而按每个工序决定该对象状态量的正常变动范围，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量，所述比较部按每个工序对运转中的对象真空泵的对象状态量与所述正常变动范围进行比较，检测从所述正常变动范围脱离的异常数据，该信息处理装置进一步具备：判定基准决定部，该判定基准决定部按真空泵有无故障，分别使用与对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值，来决定用于判定故障可能性或继续运转可能性的泵状态判定基准或者用于判断是否输出警报的警报判断基准；及区分部，该区分部按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量，所述决定部按每个经分割的所述工序决定所述对象状态量的正常变动范围，所述区分部将从除害装置输入的开始成膜信号中所包含的开始成膜时间点作为起点，按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社荏原制作所 信息处理装置

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