申请/专利权人：不二越机械工业株式会社;国立大学法人信州大学;诺维晶科股份有限公司

申请日：2021-02-26

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN113308728B

主分类号：C30B11/00

分类号：C30B11/00;C30B29/16

优先权：["20200227 JP 2020-032482"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.12.09#实质审查的生效;2021.08.27#公开

摘要：一种氧化镓晶体的制造装置，其包括：坩埚，其内部容纳氧化镓原料；坩埚支撑体，其从下方支撑坩埚；坩埚支撑轴，其从下方连接至坩埚支撑体，并且可垂直移动地支撑坩埚和坩埚支撑体；管状的炉芯管，其包围坩埚、坩埚支撑体以及坩埚支撑轴；管状的炉内管，其包围炉芯管；以及电阻加热元件，其包括放置于炉芯管与炉内管之间的空间中的发热部。炉芯管和炉内管的熔点为1900℃以上。炉芯管的在径向上位于坩埚的正旁边的部分的热导率比炉内管的热导率高。

主权项：1.一种氧化镓晶体的制造装置，其特征在于，包含：坩埚，其内部容纳氧化镓原料；坩埚支撑体，其从下方支撑上述坩埚；坩埚支撑轴，其从下方连接至上述坩埚支撑体，并且可垂直移动地支撑上述坩埚和上述坩埚支撑体；管状的炉芯管，其包围上述坩埚、上述坩埚支撑体以及上述坩埚支撑轴；管状的炉内管，其包围上述炉芯管；以及电阻加热元件，其包含放置于上述炉芯管与上述炉内管之间的空间中的发热部，其中，上述炉芯管和上述炉内管的熔点为1900℃以上，其中，上述炉芯管的在上述炉芯管的径向上位于上述坩埚的正旁边的部分的热导率比上述炉内管的热导率高，上述炉芯管具有包含在上述炉芯管的径向上位于上述坩埚正旁边的部分的第一部分；以及除上述第一部分以外的第二部分，上述第一部分的热导率高于上述第二部分的热导率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 不二越机械工业株式会社;国立大学法人信州大学;诺维晶科股份有限公司 氧化镓晶体的制造装置

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