申请/专利权人：倪建刚

申请日：2022-05-05

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114808145B

主分类号：C30B35/00

分类号：C30B35/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.08.16#实质审查的生效;2022.07.29#公开

摘要：本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种快速降温的单晶炉底盘及其降温方法，水罩板内形成由底盘主体外圈向中心方向螺旋设置的第一降温通道；水罩板外围设有连通第一降温通道的进水口，坩埚法兰外侧侧壁设有向下螺旋延伸的第二降温通道，坩埚法兰上外侧壁设有连通第一降温通道和第二降温通道的中间开口，坩埚法兰的下外侧壁设有连通第二降温通道的出水口；第一降温通道沿其螺旋方向分布有分水件，分水件包括连接底盘主体和水罩板的柱体，可转动套设于柱体外的旋转球、沿旋转球外周向分布的弧形板；弧形板下凹处连接旋转球侧壁，且弧形板开口朝向旋转球外；延长水与底盘的接触时间，能够对底盘进行充分的无死角冷却。

主权项：1.一种快速降温的单晶炉底盘，包括底盘主体1、罩设于底盘主体1底部的水罩板2以及穿设于底盘主体1和水罩板2上坩埚法兰3、真空法兰8及电极法兰9，所述坩埚法兰3位于底盘主体1的正中间，且向下穿出水罩板2；所述真空法兰8及电极法兰9底边缘贴紧水罩板2，其特征在于：所述真空法兰8、电极法兰9底边与底盘主体1之间均形成冷却间隙，所述水罩板2内形成由底盘主体1外圈向中心方向螺旋设置的第一降温通道21，冷却间隙连通第一降温通道；所述水罩板2外围设有连通第一降温通道21的进水口22，坩埚法兰3外侧侧壁设有向下螺旋延伸的第二降温通道31，所述坩埚法兰3上外侧壁设有连通第一降温通道21和第二降温通道31的中间开口24，所述坩埚法兰3的下外侧壁设有连通第二降温通道31的出水口33；所述第一降温通道沿其螺旋方向分布有分水件4，该分水件4包括连接底盘主体1和水罩板2的柱体41，可转动套设于柱体41外的旋转球44、沿旋转球44外周向分布的弧形板42；该弧形板42下凹处连接旋转球44侧壁，且弧形板42开口朝向旋转球44外；所述柱体41包括连接底盘主体1和水罩板2的吸热端41a和穿出水罩板2的散热端41b，所述散热端41b插入散热瓶5内，散热瓶5内盛装散热液，散热瓶5外侧设置散热翅片51。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 倪建刚 一种快速降温的单晶炉底盘及其使用方法

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