申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2019-07-05

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN110690140B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：["20180705 KR 10-2018-0078333","20180927 KR 10-2018-0115179"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2020.02.11#实质审查的生效;2020.01.14#公开

摘要：一种用于处理基板的设备，包括：处理容器，其内部具有处理空间；基板支撑单元，其支撑所述处理容器中的基板并且使所述基板在所述处理容器中旋转；以及喷嘴单元，其将处理液体分配到所述基板上。所述喷嘴单元包括：喷嘴，其分配所述处理液体；和紫外线UV光供应单元，其发射UV光以活化分配到所述基板上的所述处理液体的自由基。

主权项：1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括：处理容器，其内部具有处理空间；基板支撑单元，其被构造成支撑所述处理容器中的所述基板并且使所述基板在所述处理容器中旋转；和喷嘴单元，其被构造成将处理液体分配到所述基板上，其中所述喷嘴单元包括：喷嘴，其被构造成分配所述处理液体；和紫外线UV光供应单元，其被构造成发射UV光以活化分配在所述基板上的所述处理液体的自由基，其中所述紫外线光供应单元包括：灯管，其在其相对的两端处气密地密封以在内部形成放电空间并且朝向所述基板暴露；和一对连接器，其安装在所述灯管的所述相对的两端上且包括灯丝，且其中所述灯管具有U形形状，所述U形形状包括平行于所述基板的水平部分以及从所述水平部分的相对的两端竖直向上延伸的竖直部分，所述连接器安装在所述竖直部分上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 基板处理设备和喷嘴单元

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