申请/专利权人：科磊股份有限公司

申请日：2021-09-21

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN116235042B

主分类号：G01N21/956

分类号：G01N21/956;G06T7/00;G06N20/00;G06N3/0464;G03F7/20;G01N21/88

优先权：["20201001 US 17/060,372"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2023.09.15#实质审查的生效;2023.06.06#公开

摘要：一种计量系统包含通信地耦合到控制器的一或多个离焦成像计量子系统，所述控制器具有经配置以接收在一或多个焦点位置处捕获的多个训练图像的一或多个处理器。所述一或多个处理器可基于所述多个训练图像产生机器学习分类器。所述一或多个处理器可接收针对一或多个目标叠加测量的对应于一或多个目标特征的一或多个目标特征选择。所述一或多个处理器可使用所述机器学习分类器来基于所述一或多个目标特征选择确定一或多个目标焦点位置。所述一或多个处理器可：接收在所述一或多个目标焦点位置处捕获的一或多个目标图像，所述目标图像包含目标样品的所述一或多个目标特征；及基于所述一或多个目标图像确定叠加。

主权项：1.一种计量系统，其包括：控制器，其通信地耦合到一或多个离焦成像计量子系统，其中所述控制器包含经配置以执行存储于存储器中的程序指令集的一或多个处理器，且其中所述程序指令集经配置以致使所述一或多个处理器：接收在一或多个焦点位置处捕获的多个训练图像，所述多个训练图像包含训练样品的一或多个训练特征；基于在所述一或多个焦点位置处捕获的所述多个训练图像产生机器学习分类器；接收针对一或多个目标叠加测量的对应于目标样品的一或多个目标特征的一或多个目标特征选择；使用所述机器学习分类器来基于所述一或多个目标特征选择确定一或多个目标焦点位置；接收在所述一或多个目标焦点位置处捕获的一或多个目标图像，所述一或多个目标图像包含所述目标样品的所述一或多个目标特征；及基于所述一或多个目标图像确定一或多个叠加测量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 科磊股份有限公司 用于在基于图像的叠加计量中确定目标特征焦点的系统及方法

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