申请/专利权人：广东先导微电子科技有限公司

申请日：2022-06-28

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN115026705B

主分类号：B24B29/02

分类号：B24B29/02;B24B57/02;B24B41/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.09#公开

摘要：提供一种抛光机，其包括底座、抛盘以及泡沫发生器，底座能够旋转，底座具有收容凹部，收容凹部用于收容待抛材料；抛盘能够旋转，抛盘具有周壁、底壁以及多个抛光颗粒，周壁和底壁围成腔体，底壁具有沿上下方向贯通的多个通孔，多个抛光颗粒固定在底壁的平的下表面上并与多个通孔的开口间隔开，多个抛光颗粒用于在抛盘旋转过程中对待抛材料进行表面抛光；泡沫发生器用于使抛光液形成泡沫且形成的泡沫经由多个通孔的开口流出到对待抛材料的表面上。由于形成的泡沫经由多个通孔的开口流出到对待抛材料的表面上，这样使得泡沫能够更为均匀地分布到待抛光的表面的各个部位而不会受到抛光颗粒在径向上的任何阻挡，提高了抛光液所形成的泡沫的抛光作用。

主权项：1.一种抛光机100，其特征在于，包括底座1、抛盘2以及泡沫发生器3，底座1能够旋转，底座1具有收容凹部11，收容凹部11用于收容待抛材料200；抛盘2能够旋转，抛盘2具有周壁21、底壁22以及多个抛光颗粒23，周壁21和底壁22围成腔体24，底壁22具有沿上下方向D贯通的多个通孔221，多个抛光颗粒23固定在底壁22的平的下表面222上并与多个通孔221的开口221a间隔开，多个抛光颗粒23用于在抛盘2旋转过程中对待抛材料200进行表面抛光；泡沫发生器3用于使抛光液形成泡沫300且形成的泡沫300经由多个通孔221的开口221a流出到对待抛材料200的表面上；底座1的材料为能够弹性伸缩的橡胶材料；收容凹部11的尺寸设置成收容凹部11的周面夹紧待抛材料200并收容凹部11的周面与待抛材料200的周面形成密封。

全文数据：

权利要求：

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