申请/专利权人：中国地质大学(北京);中国地质大学(北京)郑州研究院;珀丽诗(河南)文化科技有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774288U

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;G01N27/48;G01K7/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型公开了一种化学机械抛光氧化还原电位的在线监测装置，包括电极检测模块、离化模块、信号转换模块和信号输出模块，所述电极检测模块包括测量电极、参比电极和测温热电偶，所述测量电极与所述参比电极电信连接，所述离化模块和所述电极检测模块电信连接，所述测量电极采用铂电极，所述参比电极采用饱和甘贡电极，所述铂电极和所述测温热电偶安装在抛光盘的凹槽处，所述饱和甘贡电极安装在承载盘沟槽处；在抛光过程中，可实现抛光液氧化性能的在线检测，可有效的监控化学机械抛光的氧化性能，由于抛光液的快速流动，可在测量电极表面快速建立平衡电位，氧化还原电位响应速度快。

主权项：1.一种化学机械抛光氧化还原电位的在线监测装置，其特征在于：包括电极检测模块1、离化模块2、信号转换模块3和信号输出模块4，所述电极检测模块1包括测量电极11、参比电极12和测温热电偶；所述测量电极11与所述参比电极12电信连接，所述离化模块2和所述电极检测模块1电信连接，所述电极检测模块1与所述信号转换模块3信号连接，所述信号转换模块3与所述信号输出模块4信号连接。

全文数据：

权利要求：

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