申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220774315U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型提供了一种晶圆盒自动开合装置，用于打开或闭合晶圆盒的盒体和底盘。壳体罩于底座上，电机、传动组件和开盒组件均位于壳体内部；电机设置在底座上，并与传动组件连接；传动组件与开盒组件传动连接；开盒组件设置在底座上；当将晶圆盒放入壳体的内部时，壳体的顶部内壁与盒体的顶部可拆连接，开盒组件的上端与底盘可拆连接，并与底盘上的锁定结构适配。本实用新型的晶圆盒自动开合装置能够快速、准确的打开晶圆盒的盒体和底盘，不受操作环境的限制，提高了生产效率和质量。

主权项：1.一种晶圆盒自动开合装置，用于打开或闭合晶圆盒的盒体和底盘，其特征在于，装置包括电机、底座、壳体、传动组件和开盒组件；所述壳体罩于所述底座上，所述电机、所述传动组件和所述开盒组件均位于所述壳体的内部；所述电机设置在所述底座上，并与所述传动组件连接；所述传动组件与所述开盒组件传动连接；所述开盒组件设置在所述底座上；当将所述晶圆盒放入所述壳体的内部时，所述壳体的顶部内壁与所述盒体的顶部可拆连接，所述开盒组件的上端与所述底盘可拆连接，并与所述底盘上的锁定结构适配。

全文数据：

权利要求：

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