申请/专利权人：株洲三一硅能技术有限公司

申请日：2023-09-05

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220776384U

主分类号：H05K9/00

分类号：H05K9/00;C23C16/505

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型涉及电磁屏蔽技术领域，提供一种用于PECVD设备的电磁屏蔽结构及装置，包括底部支架、第一支架、第二支架、第三支架、第一罩体、第二罩体和第三罩体，采用分体式的支架和罩体结构，可以在维修过程中只拆卸一侧屏蔽罩，且整体重量较轻，无需使用堆高车作业，制造和维护成本较低，支架与罩体之间通过螺栓连接，维修过程中底部框架无需拆卸，点对点拆卸维修对象，只需两人配合即可抬出罩体，节省维护成本，从而解决了现有屏蔽罩拆卸困难的问题。

主权项：1.一种用于PECVD设备的电磁屏蔽结构，其特征在于，包括：底部支架1；对应设置的第一支架2和第二支架3，所述第一支架2和所述第二支架3设于所述底部支架1上；第三支架4，设于所述第一支架2和所述第二支架3之间，PECVD设备的电极分别被包裹于所述第一支架2、所述第二支架3和所述第三支架4的内部；第一罩体5，所述第一罩体5覆盖于所述第一支架2的外侧，以对所述第一支架2内部电极辐射的电磁进行屏蔽；第二罩体6，所述第二罩体6覆盖于所述第二支架3的外侧，以对所述第二支架3内部的电极辐射的电磁进行屏蔽；第三罩体7，所述第三罩体7覆盖于所述第三支架4的外侧，以对所述第三支架4内部的电极辐射的电磁进行屏蔽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株洲三一硅能技术有限公司 用于PECVD设备的电磁屏蔽结构及装置

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